PGS-XY 系列
PGS-XY特點：堆疊XY平臺；高速，高加速；高精度，高剛性；無齒槽力
關鍵詞：
所屬分類：
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- 規格參數
- 尺寸圖
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設計特點：
A. 堆疊XY平臺
B. 高速，高加速
C. 高精度，高剛性
D. 圓晶平臺
E. 無齒槽力
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電機參數 單位 L U 電機型號 - AUM4-P-S6×2 AUM4-P-S5 持續推力(自冷) @100ºC① N 662 276 峰值推力 N 3744 1560 力常數 ±10% N/Arms 72 60 反電勢常數 ±10% Vpeak/(m/s) 58.8 49 相間電阻 @25ºC ±10%② Ω 6.61 5.53 相間電感 ±20%③ mH 5.75 4.79 持續電流(自冷) @100ºC① Arms 4.6 4.6 峰值電流 Arms 26 26 最高母線電壓 Vdc 330 330 電磁周期 mm 60 60 60 機械參數④⑤ 單位 L U 精度等級 - P UP P UP 有效行程 mm 300/350/400/450 300/350/400/450 分辨率 μm SINCOS SINCOS 重復定位精度 μm ±0.3 ±0.3 平面度 μm 5 5 總直線度 μm 7.5 7.5 局部直線度 μm/cm ±0.1 ±0.1 俯仰 arcsec 20 20 俯仰重復性 arcsec ±0.5 ±0.5 橫擺 arcsec 20 20 橫擺重復性 arcsec ±0.5 ±0.5 最小步進 nm 80 20 80 20 典型靜態抖動⑥ nm ±20 ±5 ±20 ±5 信號周期⑦ μm 20 4 20 4 注： 1 測量時環境溫度為25ºC，取決于散熱環境。
2 電阻測量采用直流電流，含0.5米標準線纜。
3 電感測量頻率1kHz，AUM系列電感浮動范圍較大為±40%是因為三相電感不同，樣冊標定數值為最大值與最小值的平均值，對于每一相電感，浮動范圍為±20%。
4 測試工況無負載。測試高度距上軸安裝面200mm。
5 參數為單軸 (例如： X 和 Y 軸)。
6 高性能直流驅動器。截止頻率 = 1kHz。
7 更高精度編碼器可定制。
★除了適用于標準環境的運動平臺，雅科貝思也提供適用于超高真空 (10-7 Torr)，帶磁屏蔽的高精度運動平臺。請聯系[email protected]。
相關參數規格如有變動，恕不另行通知。
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