AAL系列
導軌、電機、編碼器實現全面無接觸、無磨損
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設計特點：
A.高剛性、無摩擦靜壓氣浮導向實現絕對順滑的勻速掃描運動
B.超精等級幾何精度滿足高端定位系統需求
C.導軌、電機、編碼器實現全面無接觸、無磨損
D.內置線纜管理以及模組化XY堆疊設計簡化系統集成工作
E.適用于半導體晶圓檢測、激光微加工、鉆石單晶車床等應用
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AAL270
電機參數 單位 無屏蔽排線版 AAL270-X-XX-XX-X-A-X 帶屏蔽排線版 AAL270-X-XX-XX-X-B-X 電機型號 - AUM3-P-S3 AUM3-P-S3 持續推力(自冷) @100ºC ① N 85 85 峰值推力 N 433 433 力常數 ±10% N/Arm 23.6 23.6 反電勢常數 ±10% Vpeak/(m/s) 19.2 19.2 相間電阻 @25ºC ±10% ② Ω 3.3 3.3 相間電感 ±40% ③ mH 2.62 2.62 持續電流(自冷) @100ºC ① Arms 3.6 3.6 峰值電流 Arms 18.4 18.4 最高母線電壓 ④ Vdc 100 330 電磁周期 mm 60 60 機械參數 ⑤ 單位 100 mm 200 mm 300 mm 400 mm 500 mm 分辨率 μm SINCOS SINCOS SINCOS SINCOS SINCOS 定位精度 (補償后) μm ±0.2 ±0.4 ±0.4 ±0.5 ±0.5 雙向重復定位精度 (ISO230-2) μm ±0.075 ±0.1 ±0.15 ±0.2 ±0.2 平面度 μm ±0.4 ±0.5 ±0.75 ±1.5 ±2.0 直線度 μm ±0.4 ±0.5 ±0.75 ±1.5 ±2.0 側傾 arcsec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5 俯仰 arcsec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5 橫擺 arcsec ±1 ±2 ±3 ±4 ±5 額定負載 kg 40 最大空載加速度 m/s2 20 最大空載速度 m/s 1.0 空載運動質量 (無屏蔽排線版) AAL270-X-XX-XX-X-A-X kg 7.3 空載運動質量 (帶屏蔽排線版) AAL270-X-XX-XX-X-B-X kg 7.7 空載總質量,單軸 (無屏蔽排線版) AAL270-X-XX-XX-X-A-X kg 22.7 26.0 29.3 32.5 35.8 空載總質量,單軸 (帶屏蔽排線版) AAL270-X-XX-XX-X-B-X kg 23.8 27.2 30.6 33.9 37.3 工作環境溫度 ℃ 10~40 注：
1 測量室溫25ºC，取決于散熱環境。 相關參數規格如有變動，恕不另行通知。
2 電阻測量采用直流電流，含0.5米標準線纜。
3 電感測量頻率1kHz，AUM系列電感浮動范圍較大為±40%是因為三相電感不同，樣冊標定數值為最大值與最小值的平均值，對于每一相電感，浮動范圍為±20%。 4 無屏蔽排線版的最高母線電壓是100V。
5 機械規格指的是單軸模組。
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單軸無屏蔽排線版(AAL270-X-XX-XX-X-A-X)
XY堆疊無屏蔽排線版(AAL270-X-XX-XX-X-A-X)
單軸帶屏蔽排線版(AAL270-X-XX-XX-X-B-X)
XY堆疊帶屏蔽排線版(AAL270-X-XX-XX-X-B-X)
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